日(rì)前,一種可(kě)抗2000℃瞬(shùn)時超(chāo)高溫沖擊的矽隔離(lí)耐高(gāo)溫壓(yā)力傳感器(qì)在西安交(jiāo)大精密工程(chéng)研(yán)究所(suǒ)研制(zhì)成功。
專家(jiā)認爲,這一國家(jiā)“863”計劃項目的完成,将(jiāng)有效(xiào)解決(jué)我國航(háng)空航天、石油化(huà)工、汽車(chē)工業等領(lǐng)域高(gāo)溫環(huán)境下(xià)壓力測量和(hé)瞬時高(gāo)溫沖擊(jī)下傳感(gǎn)器失(shī)效的技術(shù)難題(tí),打破了國(guó)外同(tóng)類産品對我國傳(chuán)感器市(shì)場的壟(lǒng)斷,提升了我國這一行業(yè)的整體水平(píng)和國際競争能(néng)力,具有很(hěn)高的(de)推廣(guǎng)和使用價值。
據介紹(shào),常規的矽壓力傳感(gǎn)器隻能(néng)在120℃以下進行壓力(lì)測量(liàng),超過120℃時(shí),傳(chuán)感器(qì)的性(xìng)能(néng)會(huì)嚴重(zhòng)惡化以至失效(xiào)。常規的(de)測量(liàng)方(fāng)法和手段不能(néng)滿足高溫等惡(è)劣環(huán)境下的壓(yā)力測量和自動(dòng)化領域越來越(yuè)高的測量(liàng)精度(dù)要求,緻使(shǐ)我國(guó)高溫(wēn)壓力傳感(gǎn)器(qì)産(chǎn)品長(zhǎng)期以(yǐ)來主(zhǔ)要依賴進(jìn)口。西安(ān)交大研制的耐高溫壓(yā)力傳感(gǎn)器(qì)能在(zài)-30℃~250℃環境下(xià)進行壓(yā)力測量,可完成(chéng)1000mpa以下任意(yì)量程(chéng)範圍(wéi)的壓(yā)力測(cè)量,能(néng)承受(shòu)2000℃瞬時(shí)高溫沖(chòng)擊。可滿(mǎn)足高(gāo)溫、高壓、高(gāo)頻響及瞬時高溫沖(chòng)擊等惡劣(liè)環境下的壓力(lì)測量,具有自主(zhǔ)知識(shí)産權,填(tián)補(bǔ)了國(guó)内在(zài)此領(lǐng)域的多項(xiàng)空白,對于推動我國(guó)儀器儀表(biǎo)工業(yè)的發(fā)展,培養新的經濟增(zēng)長點(diǎn)具有重要(yào)意義。
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