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金(jīn)屬(shǔ)管浮子(zǐ)流量計(jì)加裝阻尼(ní)器在多晶(jīng)矽生(shēng)産中(zhōng)應用
發(fā)布(bù)時間(jiān):2021-12-21 08:13:01

摘要:讨論了(le)金屬管浮子流量(liàng)計 加裝(zhuāng)阻尼器在多晶矽生産(chǎn)中的(de)應(yīng)用方案(àn),并對流(liú)量(liàng)計(jì)使(shǐ)用阻尼器(qì)前後(hòu)的效果作了對比。
1金屬管(guǎn)浮子流量(liàng)計(jì)的工作(zuò)原理及一般應(yīng)用
  轉子流(liú)量計(jì) ,又稱浮子流量(liàng)計,金屬浮子流量計(jì)由于其結(jié)構簡單(dān),可靠性強,可輸出(chū)标準信号(hào),并能(néng)實現(xiàn)流量(liàng)的指示、積(jī)算、記錄(lù).控(kòng)制和報警(jǐng)等多(duō)種功(gōng)能,所以(yǐ)在工,業生産中(zhōng)被(bèi)廣泛(fàn)應用。
1.1金屬(shǔ)管浮(fú)子(zǐ)流量計的工(gōng)作原(yuán)理
  金屬管(guǎn)浮子(zǐ)流(liú)量計采(cǎi)用可變面積式測量(liàng)原(yuán)理。llj 主要(yào)由三(sān)部分組成(chéng):測量管、浮子.耦(ǒu)合指示系統。如(rú)原理(lǐ)圖所(suǒ)示,相(xiàng)對應測量(liàng)介質(zhì)的某(mǒu)--流量。磁性(xìng)浮子在測(cè)量管中對(duì)應(yīng)一個浮(fú)子位置(zhì).這(zhè)個浮(fú)子位(wèi)置通(tōng)過指(zhǐ)示器中的(de)經過(guò)充磁的磁(cí)耦(ǒu)合指示(shì)系(xì)統(tǒng)帶動指針,由(yóu)刻度盤(pán)和指針(zhēn)讀出相應的流量計。也(yě)可配裝不同的轉換器.将流量(liàng)值轉換成标準(zhǔn)的電遠傳信号(hào),從而實(shí)現遠距(jù)離顯示、記錄(lù)、積(jī)算和控制(zhì)功能(néng)。金屬管轉子流(liú)量計在耦合指示(shì)系統的(de)設計(jì)上可以(yǐ)爲(wèi)各(gè)種(zhǒng)應用場合提供可靠(kào)适(shì)用(yòng)的功(gōng)能組合(hé),如(rú)現場(chǎng)指針顯示、lcd顯示瞬時和(hé)累計流(liú)量等。在(zài)指(zhǐ)示器(qì)供電(diàn)選擇方面(miàn)有電(diàn)池(chí)供(gòng)電、24vdc供(gòng)電、220vac供(gòng)電,方式根(gēn)據現場情況選(xuǎn)擇。
 
1.2金屬管(guǎn)浮子(zǐ)流量計的一般應用(yòng)
  工業(yè)上常(cháng)用的(de)流量(liàng)計除(chú)了金屬轉了流(liú)量計外(wài),還(hái)有 差(chà)壓流量計 渦街流量計 電磁流(liú)量(liàng)計 超聲波流(liú)量計 渦輪流(liú)量(liàng)計 橢圓齒輪流(liú)量計 等。每種流(liú)量計(jì)在針對不(bú)同的被測流體(tǐ)、不同的(de)流動狀(zhuàng)态、不同(tóng)的測量(liàng)場所(suǒ),各有(yǒu)其優(yōu)勢和劣勢.比如在流(liú)速(sù)不(bú)同的(de)場合(hé)中(zhōng),中(zhōng)高流(liú)速下(xià)的流量測量已有(yǒu)孔闆.渦(wō)街等多種流量(liàng)計能夠實現正(zhèng)确測(cè)量,而(ér)在較(jiào)低流速、較(jiào)高壓(yā)力的(de)流(liú)量(liàng)測量(liàng)中,尤其低雷諾(nuò)系數(shù)的情況下(xià).金屬管浮(fú)子流(liú)盤計就起(qǐ)到非(fēi)常重要(yào)的作用(yòng)。
 
2金屬(shǔ)管浮子流(liú)量計加(jiā)裝(zhuāng)阻尼(ní)器在多晶矽生(shēng)産中的應(yīng)用
2.1阻(zǔ)尼器的(de)工作原理
  使(shǐ)自(zì)由振動衰減的各(gè)種摩(mó)擦和其他(tā)阻礙(ài)作用(yòng),我(wǒ)們(men)稱之(zhī)爲阻(zǔ)尼。而(ér)可以(yǐ)提供運動的阻(zǔ)力,耗碰運動能(néng)量的裝置,我們(men)稱爲阻尼器。目前各種(zhǒng)應(yīng)用中(zhōng)有:彈貧(pín)阻(zǔ)尼器、液(yè)壓(yā)阻尼器、粘(zhān)滞阻(zǔ)尼(ní)器.氣阻尼器(qì)、電(diàn)磁阻尼(ní)器等(děng)。
2.2金屬管浮(fú)子流(liú)量計在使(shǐ)用中出現(xiàn)的問(wèn)題
  轉子流量計(jì)在多晶矽生産現場使(shǐ)用過程(chéng)中,由(yóu)于測量介質(zhì)瞬間流量過(guò)小或不(bú)穩(wěn)定(dìng)、操作壓力低(dī)或不(bú)穩定,儀(yí)表(biǎo)前後(hòu)測量(liàng)管道内徑(jìng)變化過大,前後(hòu)直管段(duàn)嚴(yán)重(zhòng)不(bú)符合使用規定(dìng)要求,尤其是測量介(jiè)質爲(wèi)氣體等(děng)情(qíng)況下會造(zào)成流量(liàng)計測量(liàng)管内(nèi)介(jiè)質(zhì)流動極不穩定(dìng),引起浮子發生跳動(dòng)的現象。浮子的垂直上下(xià)直線(xiàn)運動通過磁耦合系統(tǒng)傳遞、傳(chuán)化爲(wèi)指針軸的(de)轉(zhuǎn)動運行,與指(zhǐ)針軸組合成一-體的指針(zhēn)轉動(dòng)從而擡示介質(zhì)的瞬(shùn)時流量。流(liú)量計測量管中(zhōng)浮子發(fā)生(shēng)的跳動現象傳(chuán)遞給指針,就變成爲(wèi)指針(zhēn)連續不停頓的擺(bǎi)動(dòng)現象(xiàng),造成流量(liàng)指(zhǐ)示(shì)不穩定,甚至根(gēn)本不能讀取刻(kè)度值(zhí),确定瞬時(shí)流量數值。如果(guǒ)現場(chǎng)出現(xiàn)這種(zhǒng)現象,通(tōng)常的處(chù)理方法(fǎ)是分析造成指針(zhēn)擺動(dòng)的主要原因,多(duō)數情(qíng)況(kuàng)下從多(duō)晶矽(xī)生産(chǎn)工藝上采取(qǔ)措(cuò)施,改善介(jiè)質流動狀況,從而減少、避(bì)免指(zhǐ)針(zhēn)的擺動(dòng)。但是(shì)很多時候指針(zhēn)擺動(dòng)的頻(pín)率、幅度很難從根本(běn).上(shàng)避(bì)免、降(jiàng)低。
2.3氣阻尼器(qì)在(zài)金屬(shǔ)管(guǎn)浮(fú)子流(liú)量計中(zhōng)的應用(yòng)
  在儀(yí)表(biǎo)測量管(guǎn)中(zhōng)加(jiā)裝(zhuāng)氣阻尼(ní)器成爲解決浮(fú)子跳動,指針擺動的(de)有效(xiào)方法之一。該裝置包(bāo)括氣阻尼(ní)頭與(yǔ)氣阻尼套(tào),二者(zhě)爲間(jiān)隙配(pèi)合,二者間形成(chéng)的腔體中充滿測量(liàng)介質(zhì),當浮(fú)子向上或(huò)向下運動時,測量(liàng)介(jiè)質必須排(pái)出(chū)或進人(rén)腔體,由于阻尼頭與(yǔ)阻尼(ní)套之(zhī)間間隙很小,測(cè)量介(jiè)質排(pái)出或進人腔體的速(sù)度滞後于浮子(zǐ)向.上或(huò)向(xiàng)下運(yùn)動的(de)速(sù)度.從(cóng)而(ér)起到(dào)阻尼(ní)效果,降低(dī).浮子向.上(shàng)或向(xiàng)下運(yùn)動的(de)速度,過低指針(zhēn)擺動的頻(pín)率(lǜ)、幅(fú)度。
2.3.1氣阻尼(ní)器使(shǐ)用中需(xū)要注意(yì)的問(wèn)題。
  現(xiàn)有阻尼裝置中(zhōng)的氣(qì)阻尼(ní)頭與阻尼(ní)套之(zhī)間(jiān)的(de)配合(hé)爲面接觸.與流(liú)量計測量管與(yǔ)介質(zhì)流動極不(bú)穩定,引起浮子發生(shēng)跳動(dòng),加之(zhī)加工誤差,常會使氣(qì)阻尼頭随(suí)浮子導向.杆産(chǎn)生偏(piān)移.導緻氣(qì)阻尼頭過(guò)快的(de)磨損,嚴重時使氣阻尼套卡住(zhù),影響(xiǎng)阻尼(ní)效果(guǒ),縮短氣阻尼裝(zhuāng)置的使用壽命(mìng)。
2.3.2解決方案。
  爲了解決可能(néng)存在(zài)的不足,可采用(yòng)了以(yǐ)下(xià)新技術(shù)。改變(biàn)氣阻(zǔ)尼頭與氣阻尼套之(zhī)間的配(pèi)合(hé)方式(shì),使之配合的表(biǎo)面形狀爲球(qiú)面(miàn),球面的圓心在(zài)氣阻尼頭與氣(qì)阻尼(ní)套配合的(de)中軸線上,使氣阻尼頭與氣阻尼套之間(jiān)的配(pèi)合爲線性接觸(chù)。當氣阻尼(ní)頭随浮子(zǐ)導向(xiàng)杆産(chǎn)生偏(piān)移時(shí),氣阻(zǔ)尼頭(tóu)與(yǔ)氣阻尼(ní)套之間的(de)配合始終是線接觸(chù),既可防(fáng)止氣阻(zǔ)尼頭(tóu)與(yǔ)氣(qì)阻(zǔ)尼(ní)套卡住.義(yì)使氣阻尼頭磨(mó)損平(píng)均,延長了氣阻尼(ní)裝置使用壽(shòu)命。
 
2.4電磁阻(zǔ)尼(ní)器(qì)在金屬(shǔ)管浮子(zǐ)流量計(jì)中的應(yīng)用
  由(yóu)于轉子流(liú)量計的測量管(guǎn)爲機械結構.測(cè)量時對波(bō)動很敏感,經(jīng)常會出(chū)現指(zhǐ)針波(bō)動嚴(yán)重(zhòng),甚至影響讀(dú)數的情況(kuàng)。除(chú)了(le)在測量管中加(jiā)裝氣阻(zǔ)尼器之外,還(hái)可以在指(zhǐ)針組件(jiàn)中增加(jiā)電磁(cí)阻(zǔ)尼器(qì),使(shǐ)指針擺(bǎi)動(dòng)的頻(pín)率、幅(fú)度大幅度(dù)降低(dī),使指針指(zhǐ)示穩(wěn)定,刻(kè)度值(zhí)讀取變得容易,讀取精度更高(gāo)。
  電磁阻(zǔ)尼器的(de)工作(zuò)原理。電磁(cí)阻尼器(qì)由磁鋼(gāng)、連接(jiē)件(jiàn)、金屬闆(pǎn)等組裝(zhuāng)後(hòu)爲一體。指(zhǐ)針的(de)配重(zhòng)爲導電金(jīn)屬鋁(lǚ)合金(jīn),根據電磁(cí)感應定律,配(pèi)重在磁場中(zhōng)運動(dòng),切割磁(cí)力(lì)線.必然産(chǎn)生感(gǎn)應電(diàn)動勢(shì),從而在配重中産(chǎn)生渦電(diàn)流;磁場對(duì)帶電導體必然産生作用力(lì),而此作(zuò)用力恰(qià)好起到(dào)阻礙配(pèi)重在磁場中運動(dòng)的作用,配重運動的(de)速度越大,産生(shēng)的(de)反(fǎn)作用也越(yuè)大,其(qí)效果類(lèi)似(sì)于阻(zǔ)尼器(qì),從而使電磁阻尼器起到降低(dī)指針(zhēn)擺動頻率、幅度(dù)的作用(yòng).達到穩(wěn)定的(de)效果(guǒ)。
 
  與現(xiàn)有技(jì)術(shù)相(xiàng)比,通(tōng)過增(zēng)加電磁阻尼(ní)器(qì)裝(zhuāng)置,可有(yǒu)效改善流量計(jì)的使用效果,使指針(zhēn)的擺(bǎi)動頻(pín)率和幅度大幅(fú)度(dù)降(jiàng)低,指針穩(wěn)定指示,刻(kè)度值(zhí)的讀取(qǔ)變(biàn)得容(róng)易,讀取精(jīng)度提(tí)高,既提高了效率也保證(zhèng)了精度。

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