壓力傳感(gǎn)器基礎知識(shí)

　　敏(mǐn)感元件是能夠(gòu)靈敏地感受被(bèi)測變量并(bìng)作出(chū)響應的元件。如(rú)：彈性膜盒能感(gǎn)受壓力的高低(dī)而引(yǐn)起形(xíng)變，形(xíng)變的程度(dù)就是(shì)對(duì)壓(yā)力(lì)高低的(de)響應，因此，彈性(xìng)膜盒是(shì)一(yī)種壓(yā)力敏(mǐn)感元件。
    傳(chuán)感器不(bú)但應該(gāi)對(duì)被(bèi)測量敏感(gǎn)，而且具有把(bǎ)它對被(bèi)測量(liàng)的響(xiǎng)應傳(chuán)送出(chū)去的(de)功能。也(yě)就是說，傳感(gǎn)器不(bú)隻是(shì)一般的敏感元(yuán)件，它的(de)輸出響(xiǎng)應還必須(xū)是易于傳(chuán)送的物理(lǐ)量。例(lì)如(rú)：上訴的(de)彈性膜盒(hé)的輸(shū)出響(xiǎng)應是(shì)形變(biàn)，是微小的(de)幾何(hé)量，不便于(yú)向遠(yuǎn)方傳(chuán)送。如(rú)果把(bǎ)膜盒中心(xīn)的位(wèi)移轉變(biàn)爲電容極闆的間隙變(biàn)化，就(jiù)成(chéng)爲輸出(chū)響(xiǎng)應是(shì)電容量(liàng)的 壓(yā)力傳感器(qì)。 
    由于電(diàn)信(xìn)号便(biàn)于傳送，所以絕(jué)大多數傳感器(qì)的輸(shū)出是電量(liàng)的形式(shì)，如電(diàn)壓、電流、電阻、電感(gǎn)、電容、頻(pín)率等。 
    變(biàn)送器(qì)是從傳感器發(fā)展而(ér)來的(de)，凡能輸出(chū)标準(zhǔn)信号(hào)的傳(chuán)感器就稱(chēng)爲(wèi)變(biàn)送器(qì)。（标準信号是物(wù)理量的形(xíng)式和(hé)數值(zhí)範圍都符(fú)合标(biāo)準的信号(hào)。例如(rú)直流4～20ma）有了(le)統一(yī)的(de)信号形(xíng)式(shì)和數值範圍(wéi)，就便于把各(gè)種(zhǒng)變送(sòng)器和其他儀表組(zǔ)成(chéng)檢測(cè)系統或調節系(xì)統。 
    輸(shū)出爲非标(biāo)準信号的(de)傳感器，必須和儀表或裝置(zhì)配套，才(cái)能實現檢(jiǎn)測或(huò)調節功能(néng)。爲了(le)通用(yòng)性和靈活(huó)性，某(mǒu)些傳感器(qì)的輸出(chū)可以靠(kào)轉換(huàn)器把非标準信(xìn)号(hào)轉換成(chéng)标準信号(hào)，使之(zhī)與帶(dài)有(yǒu)标準信(xìn)号的輸(shū)入電路(lù)或接(jiē)口(kǒu)的儀表(biǎo)配套。不同(tóng)的标(biāo)準信(xìn)号也可借助于轉(zhuǎn)換器互(hù)相轉換。例如利(lì)用氣(qì)/電轉換器(qì)，能(néng)把20～100 kpa的空氣壓(yā)力轉換成0～10ma的直(zhí)流電(diàn)流。 
    位式作(zuò)用和連(lián)續作用：    
    位式(shì)作用，也稱(chēng)爲開關作用，即(jí)傳感(gǎn)器在輸入變量整(zhěng)個(gè)變化(huà)範圍内其(qí)輸出相應(yīng)隻(zhī)有(yǒu)兩種(zhǒng)狀(zhuàng)态，例如空氣(qì)狀态的“高”和“低”。
    位式(shì)作(zuò)用(yòng)的傳感器(qì)多用(yòng)于被測變(biàn)量的超限報警(jǐng)、連鎖(suǒ)保護(hù)、順序控制。例(lì)如(rú)我們(men)的壓力開(kāi)關。
    需要連續檢(jiǎn)測或調節(jiē)某些(xiē)變(biàn)量時，就必須(xū)用連(lián)續(xù)作(zuò)用的(de)傳感(gǎn)器或變送(sòng)器。
    長野的變送器中所使(shǐ)用的(de)傳感器(qì)ss—蒸發型(xíng)半導體應變片(piàn)的特點：    
   （1）相對于粘貼(tiē)式和擴散(sàn)式技術。
   （2）其可測(cè)壓力範圍 -0.1～0.3mpa；0～200mpa 。
   （3）具有(yǒu)耐用性和穩定(dìng)性。
    半導體應變(biàn)片的制(zhì)作方法(fǎ)：粘貼(tiē)方(fāng)式、蒸發(fā)方(fāng)式、擴散(sàn)方式(shì)。 
    長野(yě)的變(biàn)送器(qì)，如km31、km10 等，其半導體應變(biàn)片部分、感(gǎn)應元(yuán)件（不鏽鋼(gāng)隔(gé)膜(mó)）以(yǐ)及(jí)壓力(lì)接口部分(fèn)通過焊接連(lián)接成一(yī)體，具有很高的(de)穩定(dìng)性和可靠(kào)性，抗震性(xìng)和抗(kàng)沖擊(jī)性良(liáng)好。
     蒸(zhēng)發式半導(dǎo)體應變片的具體制作方式如下：       
   （1）在不鏽鋼(gāng)隔(gé)膜上(shàng)使用cvd等離子沉澱一(yī)層sio2絕緣膜(mó)
   （2）在sio2絕緣膜上再(zài)沉澱一層多晶矽。
   （3）在多晶矽上(shàng)使用(yòng)激(jī)光蝕刻(kè)，應變片成(chéng)型 。
   （4）用電子束照射蒸鍍，配上金制電(diàn)極。
   （5）再使用cvd等離(lí)子沉澱一層sinx保(bǎo)護膜(mó)。
 
    根(gēn)據(jù)傳感(gǎn)器或(huò)變送(sòng)器的(de)安裝場所有無易(yì)燃易爆(bào)氣體(tǐ)及危險程度，選(xuǎn)擇隔爆型(xíng)及本(běn)安型。    
   （1）隔爆型在内部電路和周圍易燃氣體之(zhī)間采(cǎi)取了隔離(lí)措施，允許(xǔ)使用(yòng)在有一定危險(xiǎn)性的(de)環(huán)境裏 。
   （2）本(běn)安型(xíng)即本質安(ān)全型的簡稱，依(yī)靠設計的(de)電路(lù)保證(zhèng)在正常工(gōng)作及故障（意外(wài)短路或斷路）狀(zhuàng)态下都不(bú)會引(yǐn)起燃爆事故，可(kě)用在十分易燃(rán)易爆(bào)的(de)場所。